Desenvolvimento de um posicionador de ultra-precisão

Abstract

Objetivo deste trabalho é de estudar, caracterizar e modelar um posicionador de ultra-precisão, de modo a propor uma estratégia de controle que atenda às especificações próprias dos processos de fabricação de ultra-precisão, nos quais exigem-se erros dimensionais submicrométricos e rugosidade superficial nanométrica. Foi desenvolvido um posicionador translativo cujas principais características são: guias cilíndricas com mancais aerostáticos, possibilidade de utilização, em forma opcional, de dois tipos de acionamento direto (motor translativo e motor de torque montado em um fuso de esferas recirculantes), realimentação de posição através de um sistema de medição LASER interferométrico e controlador baseado em DSP. O trabalho fornece as informações necessárias para a integração dos subsistemas que compõem o posicionador desenvolvido, e para a operação do mesmo.