Medida da temperatura em descargas N2+H2 usando o metodo de espectroscopia de emissão

Abstract

O estudo de descargas luminescentes no regime anormal tem merecido especial atenção devido a sua aplicabilidade nos processos de nitretação de superfícies metálicas. Um dos parâmetros importante a ser controlado no processo de nitretação é a temperatura do subtrato, por ser um fator determinante em reações químicas e processos de difusão. O nosso trabalho consiste em medir a "temperatura" rotacional dos estados N2+(B) e N2(C) do nitrogênio próxima ao cátodo, a partir da medida das intensidades relativas das linhas do espectro rotacional de emissão desses estados. As "temperaturas" rotacionais são comparadas com a temperatura do substrato que é determinada através de um termopar. É mostrado que a "temperatura" rotacional do estado N2+(B) é idêntica à temperatura do substrato exceto para descargas de nitrogênio puro a pressões superiores a 1,0 torr, enquanto que a "temperatura" rotacional do estado N2(C) é idêntica à temperatura do substrato, o que está de acordo com os resultados da literatura.